多腔体超高真空互联线性传输薄膜沉积系统

v  集成子系统描述

ü EB热蒸发/电子束蒸发镀膜系统

ü  Sputter磁控溅射镀膜系统

ü  MBE分子束外延生长系统

ü  PLD脉冲激光沉积系统

ü  ALD/PEALD原子层沉积系统

ü  CVD/PECVD/MPCVD化学气相沉积系统

ü  AFM/STM分析测试系统

ü  LOAD-LOCK进样系统/手套箱

（子系统可以根据客户要求选择定制）